产品信息
20多年碳素制造经验,满足不同场景客户需求
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产品描述
介绍
多孔石墨,经青岛高泰特殊成型工艺及高纯化处理制成,在半导体晶体生长中起重要作用。
优势
● 耐高温(>2500℃)
● 表层颗粒结合能力强,抗掉粉
● 严格的孔隙率控制
● 高纯度处理
● 阻断微量杂质
● 平衡气相
● 降低晶体缺陷
● 增加晶体生长厚度
应用
● 碳化硅 (SiC) 单晶生长部件
性能
|
项目 |
单位 |
数值 |
|
密度 |
g/cc |
1.16 |
|
抗折强度 |
Mpa |
16 |
|
气孔率 |
% |
47 |
|
平均孔径 |
um |
40 |
|
表面粗糙度 |
Ra |
0.3 |
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