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高纯多孔石墨
所属分类:
半导体应用
概要:
多孔石墨,经青岛高泰特殊成型工艺及高纯化处理制成,在半导体晶体生长中起重要作用。
- 产品描述
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- 商品名称: 高纯多孔石墨
多孔石墨,经青岛高泰特殊成型工艺及高纯化处理制成,在半导体晶体生长中起重要作用。
介绍
多孔石墨,经青岛高泰特殊成型工艺及高纯化处理制成,在半导体晶体生长中起重要作用。
优势
● 耐高温(>2500℃)
● 表层颗粒结合能力强,抗掉粉
● 严格的孔隙率控制
● 高纯度处理
● 阻断微量杂质
● 平衡气相
● 降低晶体缺陷
● 增加晶体生长厚度
应用
● 碳化硅 (SiC) 单晶生长部件
性能
项目
单位
数值
密度
g/cc
1.16
抗折强度
Mpa
16
气孔率
%
47
平均孔径
um
40
表面粗糙度
Ra
0.3
关键词:
高纯多孔石墨
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