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高纯石墨&碳纤维制品
所属分类:
半导体应用
概要:
高纯石墨及碳纤维制品,经过青岛高泰的特殊纯化工艺处理,纯度高,适用于半导体晶体生长。
- 产品描述
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- 商品名称: 高纯石墨&碳纤维制品
高纯石墨及碳纤维制品,经过青岛高泰的特殊纯化工艺处理,纯度高,适用于半导体晶体生长。
介绍
高纯石墨及碳纤维制品,经过青岛高泰的特殊纯化工艺处理,纯度高,适用于半导体晶体生长。
优势
● 纯度高
● 性能稳定
应用
● 碳化硅(SiC)单晶生长部件
● 碳化硅外延生长部件
● MOCVD 部件
● 高温部件
性能
● 石墨制品、石墨粉: 灰分不高于 5ppm
● 石墨硬毡/软毡/碳碳: 灰分不高于 20ppm
● 可针对不利于晶体生长的某些元素进行特别处理
关键词:
高纯石墨&碳纤维制品
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